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真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講,真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。在泵腔內形成通過旋轉產生體積的變化而將氣體排出泵外,主要是在吸氣過程中,吸氣腔體積增大,真空度,將容器內氣體吸入泵腔,在排氣過程中體積變小,壓強增大,通過油封將吸入的氣體排出泵外。
電子真空泵是用采用壓電材料作動力裝置(拋棄電動機驅動模式),從控制到驅動徹底實現電子化,以電子集成系統控制氣體的交換與傳輸,從而實現氣體傳輸的可調性、精準性。
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